RED OX® - Reinigung von Wafern und Vorrichtungen
mit diamantbeschichteten Silicium-Elektroden
Verunreinigungen auf Wafern, vor allem metallische Partikel, können zu großen Schäden führen. Sie können Prozesse bei den weiteren Behandlungsschritten stören. Oft haften die Partikel durch elektrostatische Adsorption an dem Wafer und können kaum entfernt werden. Je kleiner die Partikel sind, desto schwieriger ist ihre Entfernung. Unsere Diamantelektroden entfernen auch kleinste Partikel.
RED OX®-Zelle ist mit hoch leistungsfähigen DIACHEM®-Elektroden ausgestattet. Sie ist für den Einsatz in Reinigungssystemen der Halbleiterindustrie geeignet. Wir konstruieren auch skalierbare Zellen, die unsere Diamantelektroden enthalten. So sind Lösungen für jedes System möglich.
RED OX®-Zelle ist mit hoch leistungsfähigen DIACHEM®-Elektroden ausgestattet. Sie ist für den Einsatz in Reinigungssystemen der Halbleiterindustrie geeignet. Wir konstruieren auch skalierbare Zellen, die unsere Diamantelektroden enthalten. So sind Lösungen für jedes System möglich.
Reinigungsprozess
- Batch Single wafer
- Transport-Vorrichtungen
Reduzieren von chemischen Abfällen
Weites pH- und ORP-Fenster
Ersatz von externen Chemikalien
Die RED OX®-Zelle ist eine geteilte elektrochemische Zelle, die mit
Bor-dotierten Diamantelektroden ausgestattet ist. Die einzigartige Struktur der Elektroden in Kombination mit der hervorragenden DIACHEM®-Beschichtung ermöglicht die Erzeugung hochfunktioneller Spül- und Reinigungsmedien.
Eigenschaften der RED OX® - Zelle
| Abmessung (Länge x Durchmesser) | 420 mm x 210 mm x 98 mm (inkl. Anschlüsse) |
|---|---|
| Gewicht | 12,8 kg |
| max. Strom | 20 A |
| max. Spannung | 48 V |
| Temperaturgrenzen Medium | 14°C bis 70°C |
| max. Druckdifferenz Anolyt / Katholyt | 0,5 bar |
Kurzbeschreibung:
Chemische Synthesen, Erzeugung von Cathodic Water
- Geteilte Zelle mit strukturierten Si-Plattenelektroden
- Anolytkreislauf Nuttiefe 0,8mm
- Katolytkreislauf Nuttiefe 1,6mm
Chemische Synthesen, Erzeugung von Cathodic Water
